多刃式線切割機

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多刃式線切割設備運用獨特技術並搭配鑽石線的特性,可以改善切割完工品質、比傳統機台縮短一半的切割加工時間,增加產能。

應用

應用於藍寶石、碳化硅及氮化鎵(GaN)… 等硬脆材料產品。


特色

• T-8331A 適用最大直徑為 φ6-inch 及 300mm 長度的晶棒
• 兩倍產能(4-inch 只需六小時,是傳統鑽石切割的一半時間)
• 高加工精密度(4-inch 藍寶石 TTV < 10μm and Bow <10μm)
• 低的加工成本(Running cost)及低的鑽石線消耗(4-inch 藍寶石只需 15m/wafer)
• 搖擺圓柱機構結合導輪(Wire Guides)使切割硬脆材更有效益
• 設備優異的剛性結構,讓搖擺圓柱結構更加穩固
• 自由轉體線材管理系統使線材高速運轉時,可以維持相對的扭力、偏斜拉扯、張力平衡,讓鑽石線得以充分發揮最佳的特性
• 高速及精確的加工可靠度,可以在高負荷張力下確保高線速度 1,200 m/min 及高速往復 1.5 sec 加速度/減速度切割運動
• 可針對不同的特性來設定不同的工作條件、線速度、搖擺速度、搖擺角度… 等,每個切割條件位置已被整合
• 人機介面系統溝通順暢,操作維修簡單,耗材壽命長、易更換、取得容易

規格

項目(型號) uSWS-1700L
工件尺寸 Max. 600 (H) X 600 (W) X 400 (D)
線材運行速度 Max. 1200 m/min
導線 Ø170  mm
導線數量 Single Wire
搖擺度 ± 3
Z Table stroke 600 mm
Z In feed rate 0.01 ~ 150 mm/min
線徑 Ø 0.15 ~ 0.42 mm
線張力 Max. 60 N or less
體機容量 200 L
安裝尺寸 W2387 X D2330 X H1412 mm
機器重量 2800 KG