应用

应用于蓝宝石、碳化硅及氮化镓（GaN）… 等硬脆材料产品。

特色

• T-8331A 适用最大直径为 φ6-inch 及 300mm 长度的晶棒
• 两倍产能（4-inch 只需六小时，是传统钻石切割的一半时间）
• 高加工精密度（4-inch 蓝宝石 TTV < 10μm and Bow <10μm）
• 低的加工成本（Running cost）及低的金剛线消耗（4-inch 蓝宝石只需 15m/wafer）
• 摇摆圆柱机构结合导轮（Wire Guides）使切割硬脆材更有效益
• 设备优异的刚性结构，让摇摆圆柱结构更加稳固
• 自由转体线材管理系统使线材高速运转时，可以维持相对的扭力、偏斜拉扯、张力平衡，让金剛线得以充分发挥最佳的特性
• 高速及精确的加工可靠度，可以在高负荷张力下确保高线速度 1,200 m/min 及高速往复 1.5 sec 加速度／减速度切割运动
• 可针对不同的特性来设定不同的工作条件、线速度、摇摆速度、摇摆角度… 等，每个切割条件位置已被整合
• 人机接口系统沟通顺畅，操作维修简单，耗材寿命长、易更换、取得容易